●本體寸法：幅284×奧行495×高さ315（mm）
●チャンバー內寸法：幅260×奧行320×高さ90（mm）
●シール有効長さ：220mm
●電源：AC100V?50／60Hz
●電動機容量0.55KW
●定格消費電力：1.3KW
●真空ポンプ排気速度：100L／分
●重量：32kg
●真空ポンプ：空冷式オイル循環(huán)型